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常見(jiàn)問(wèn)題

5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導(dǎo)體技術(shù)

日期:2021-03-22 21:38:09

最近不管是通過(guò)抖音短視頻、還是新聞網(wǎng)站,以及我們的微信公眾號(hào)上都可以在頭版上發(fā)現(xiàn)關(guān)于芯片的新聞資訊,也有關(guān)于華為和孟晚舟被加拿大這個(gè)國(guó)際流氓判處的新聞,其中大家的重點(diǎn)意思都是在討論芯片,特別是中國(guó)芯片的問(wèn)題,一旦中美脫鉤,我們的芯片受制裁怎么辦,不同的出發(fā)點(diǎn),相同的論述點(diǎn)。但是提到芯片,始終離不開(kāi)一個(gè)公司。

那就是荷蘭ASML公司,大家都知道ASML是全球唯一,你沒(méi)聽(tīng)錯(cuò),就是全球唯一EUV光刻機(jī)供應(yīng)商,7nm及以下的芯片加工工藝生產(chǎn)制造都要靠它們家光刻機(jī)及相關(guān)設(shè)備通過(guò)相關(guān)的介紹我們發(fā)現(xiàn)ASML僅僅只是光刻機(jī)這一塊優(yōu)秀。

晶圓

前幾天他們通過(guò)媒體宣布了另外一個(gè)新產(chǎn)品首創(chuàng)第一代HMI多光束檢測(cè)機(jī)HMI eScan1000,這種設(shè)備適用于5nm晶圓制造及更先進(jìn)工藝,通過(guò)先進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備使得晶圓的產(chǎn)能大漲600%,沒(méi)錯(cuò)600%。

關(guān)注過(guò)芯片制造產(chǎn)業(yè)的人都制造,現(xiàn)在隨著制程工藝不斷提升,晶圓的制造越來(lái)越精密復(fù)雜,這也導(dǎo)致晶圓制造中的錯(cuò)誤更多,HMI eScan1000是一套根據(jù)HMI多光束技術(shù)的全新檢測(cè)系統(tǒng),設(shè)備的內(nèi)部也有復(fù)雜的光電子系統(tǒng),能夠產(chǎn)生控制多個(gè)電子束,然后根據(jù)反射回來(lái)的電子束成像來(lái)分析晶圓的產(chǎn)品質(zhì)量,并有高速運(yùn)行的平臺(tái),來(lái)加以控制測(cè)試的晶圓數(shù)量,然后通過(guò)計(jì)算機(jī)系統(tǒng)處理電子束反射回來(lái)的數(shù)據(jù)。

我們通過(guò)相關(guān)的文章總結(jié)來(lái)說(shuō),ASML最新研發(fā)的這個(gè)HMI eScan1000機(jī)器實(shí)際上是一臺(tái)驗(yàn)證先進(jìn)工藝制造的晶圓質(zhì)量是否達(dá)標(biāo)的系統(tǒng)。

晶圓制造

畢竟生產(chǎn)工藝越先進(jìn),相對(duì)應(yīng)的技術(shù)難度就更高,對(duì)檢測(cè)系統(tǒng)的要求就越高越重要,它的檢測(cè)精度、一定時(shí)期的檢驗(yàn)通過(guò)數(shù),直接決定了晶圓生產(chǎn)的效率。

ASMLHMI eScan1000創(chuàng)新點(diǎn)在于它是能夠同時(shí)產(chǎn)生、控制電子束的新設(shè)備,隨著檢測(cè)效率的提升,可以大幅度減少晶圓質(zhì)量分析所用的時(shí)間,直接提高產(chǎn)品的交付。

介紹到這里的時(shí)候,大家有沒(méi)有什么想法呢?我覺(jué)得我們最重要的還是要認(rèn)清我們的技術(shù)差距,認(rèn)清核心技術(shù)買(mǎi)不到的國(guó)際形勢(shì),認(rèn)清落后就要挨打的殘酷教訓(xùn)。腳踏實(shí)地把我們中國(guó)的芯片技術(shù)、芯片設(shè)計(jì)、芯片設(shè)備研發(fā)落到實(shí)處,奮起追趕,不要讓過(guò)往的悲情歷史重演。

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